光波导光电开关传声器的基本原理介绍

发布时间:2021-05-19 22:12:17     浏览数量:     

  光波导光电开关传声器的基本原理是传播在光波导方向光波的振幅和相位随波导管的尺寸或波导管邻近区域条件的变化而变化。根据这种效应,利用一个传声器将声信号入射,以实现对光波进行强度或相位的调制。这类传声器已经分别用传统的光波导和微机械加工的光波导研制出来,这种光波导硅基微传声器系统由振膜片和波导片组成。光纤将光波导耦合进波导片。一个硅基把延伸在两片金属层间高5um、长950um的槽型平板波导管连接起来。通过波导管传递的光,由硅基收集并耦合进受光纤维。振膜传来的声波用来调制槽状波导的高度,从而引起光波振幅和相位的变化。这种相位调制可由马赫一泽德干涉仪进行检测。

  和传统的分立式聚合物传声器相比,硅基驻极体传声器具有体积小、微机械加工技术及IC平面工艺兼容、适合于集成化器件生产、成本低等优点。


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